场发射扫电镜

场发射扫电镜

场发射扫电镜是材料科学分析仪器，主要应用于纳米材料研究领域，于2010年9月1日启用。该仪器搭载冷阴极场发射电子源，加速电压范围为0.5～30kV，支持低倍模式（×20～×2,000）和高倍模式（×30～×800,000）观测 。

其二次电子分辨率在15kV下为1.0nm，1kV减速模式下分辨率提升至1.4nm，普通模式则为2.0nm，在低加速电压和减速条件下适用于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800型作为该系列高端产品，在高加速电压下二次电子像分辨率达1nm，并具备减速模式的微观形貌观测功能。仪器集成X射线能谱仪，可在观测表面形貌时同步进行微区成分定性、定量及元素分布分析 。

台式场发射扫描电镜可实现全自动操作、快速成像、不喷金观看不导电样品，完全防震，性能稳定。可以最大程度还原样品真实形貌，实时快速面扫和线扫功能可以实时显示出所选元素的分布情况。

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