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EAP系统

EAP系统

的有关信息介绍如下:

EAP系统

EAP系统是半导体制造中计算机集成制造系统(CIM)的设备自动化模块,连接MES、RMS、APC、FDC等上层系统和设备层。 系统实现机台状态监控、数据采集、配方管理、批次校验、警报管理等功能。 旨在提高生产线效率和稳定性,降低生产成本,提高产品良率。

早期的EAP程序多由设备厂商开发,定制不便且费用昂贵。后续开发主动权转移至半导体制造企业的IT部门,但因缺乏通用模块导致效率低下。此后出现了由四个主要部分构成的EAP系统通用模块设计,并在大型半导体企业中得到了实际应用。 国内厂商如赛美特、格创东智、上扬软件等亦提供了相关的EAP系统或CIM解决方案。

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