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iso5级洁净度对应洁净空调等级是多少

iso5级洁净度对应洁净空调等级是多少

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iso5级洁净度对应洁净空调等级是多少

ISO5级洁净度对应我国《洁净厂房设计规范》(GB50073)规定的5级洁净空调,同时对应旧美国联邦标准(FS209E)中的100级洁净度等级。 ISO5级洁净度的量化指标为:每立方米空气中粒径≥0.5μm的悬浮粒子数不超过3520个,粒径≥5μm的悬浮粒子数不超过29个,该等级洁净度多用于半导体制造、精密光学元件组装等对环境洁净度要求较高的场景。